在晶圆划片行业，主要有两种切割工艺，一个是传统的刀片切割，另一个新型的现代工艺激光划片。下面，将通过对比两种切割工艺，证明激光划片的优势。

刀片划片

最早的晶圆是用划片系统进行划片（切割）的，现在这种方法仍然占据了世界芯片切割市场的较大份额，特别是在非集成电路晶圆划片领域。金刚石锯片（砂轮）划片方法是目前常见的晶圆划片方法。原理：当工作物是属于硬、脆的材质，钻石颗粒会以撞击（Fracturing）的方式，将工作物敲碎，再利用刀口将粉末移除。

存在的问题

● 刀片划片直接作用于晶圆表面，在晶体内部产生损伤，容易产生晶圆崩边及晶片破损；

● 刀片具有一定的厚度，导致刀具的划片线宽较大；

● 耗材大，刀片需每半个月更换一次；

● 环境污染大，切割后的硅粉水难处理。

激光划片

由于激光在聚焦上的优点, 聚焦点可小到亚微米数量级, 从而对晶圆的微处理更具优势, 可以进行小部件的加工。即使在不高的脉冲能量水平下, 也能得到较高的能量密度, 有效地进行材料加工。激光划片属于非接触式加工，可以避免出现芯片破碎和其它损坏现象。

加工优势

● 激光标刻采用的高光束质量的光纤激光器对芯片的电性影响小，可提高的划片成品率；

● 激光标刻速度快，高达150mm/s；

● 激光可以对不同厚度的晶圆进行作业，具有更好的兼容性和通用性；

● 激光可以切割一些较复杂的晶圆芯片，如六边形管芯等；

● 激光标刻不需要去离子水，不存在刀具磨损问题，并可连续24小时作业。

韵腾激光致力于为客户提供全套的解决方案。在分析了客户的工艺问题后，韵腾激光建议客户使用激光切割，激光切割是由激光束经透镜聚焦，在焦点处聚成一极小的光斑，可以达到几十微米最小几微米，将焦点调制到工件平面，当足够功率的光束照射到物体上时，光能迅速转换为热能，会产生10000°C以上的局部高温使工件瞬间熔化甚至汽化，从而将工件切割到我们需要的深度或者切透。

通过对比韵腾激光晶圆标刻机和刀片机，我们得到以下数据：

经过不断的努力与设备升级，我们成功使用激光切割替代了刀片切割设备，可以满足客户电泳法、光阻法、刀刮法制作的GPP芯片，使客户不仅提升了切割效率，更节省了成本，促进了整体效益的提升。

深圳市韵腾激光科技有限公司（Inte Laser）是一家自动化高精密激光应用专业设备制造商；是集研发、生产、销售及售后为一体的高新技术企业；目前已有多项发明zhuanli、实用新型zhuanli及计算机软件著作权等。

Inte Laser 坚信品质为发展的基础，以科学先进的组装工艺，90%以上的进口原材料、高精密的检测仪器和设备，严格、苛刻的检验标准，保障设备品质，为客户提供自动化、高精密、高效率、高指标、高稳定性的产品。 Inte Laser坚持以科技先行，不断追求技术创新，90%以上是由行业高级工程师、资深专家、硕士等组成的科技研发团队，专业服务于自动化高精密激光的切割、微焊接、钻孔、标刻、蚀刻、调阻、划线等方面的设备研发。

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