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（韵腾激光-迅）
LED蓝宝石基板介绍
1:蓝宝石详细介绍
蓝宝石的组成为氧化铝(Al2O3)，是由三个氧原子和两个铝原子以共价
键型式结合而成,其晶体结构为六方晶格结构.它常被应用的切面有APlane,C-Plane及R-Plane.由于蓝宝石的光学穿透带很宽,从近紫外光
(190nm)到中红外线都具有很好的透光性.因此被大量用在光学元件、红
外装置、高强度镭射镜片材料及光罩材料上，它具有高声速、耐高温、
抗腐蚀、高硬度、高透光性、熔点高（2045℃）等特点，它是一种相当
难加工的材料，因此常被用来作为光电元件的材料。目前超高亮度白/蓝
光LED的品质取决于氮化镓磊晶(GaN)的材料品质，而氮化镓磊晶品质则
与所使用的蓝宝石基板表面加工品质息息相关，蓝宝石(单晶Al2O3 )C面
与Ⅲ-Ⅴ和Ⅱ-Ⅵ族沉积薄膜之间的晶格常数失配率小，同时符合GaN 磊
晶制程中耐高温的要求，使得蓝宝石晶片成为制作白/蓝/绿光LED的关键
材料.
下图则分别为蓝宝石的切面图;晶体结构图上视图;晶体结构侧视图;
Al2O3分之结构图;蓝宝石结晶面示意图
最常用来做GaN磊晶的是C面(0001)这个不具极性的面,所以GaN的极性 将由制程决定
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