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行业应用:
太阳能面板 蓝宝石&玻璃盖板、光学玻璃、半导体封装芯片、硅晶圆&陶瓷基板等脆性材料,热敏感的高分子&无机材料,微细钻孔,蚀刻。
具体应用比如:
1、手机盖板和光学镜头外形切割 5、精密微细齿轮切割
2、半导体集成电路芯片切割 6、发动机喷油嘴微钻孔
3、光学镜片外形切割钻孔 7、液晶面板切割
4、精密传感器微细钻孔 8、有机&无机材料新型柔性显示或微细电子电路蚀刻&切割
机器优点:
1、采用皮秒或者飞秒激光器,超短脉冲加工几乎无热传导,适于任意有机&无机材料的高速切割与钻孔,最小3μm的崩边和热影响区。
2、采用单激光器双光路分光转镜技术,在激光蚀刻,打小圆孔等方面效率提升100倍。
3、CCD视觉预扫描&自动抓靶定位、最大加工范围650mm×450mm 、XY平台拼接精度≤±3μm。
4、支持多种视觉定位特征,如十字、实心圆、空心圆、L型直角边、影像特征点等。
5、自动裂片清洗、视觉检测分拣、机器人自动上下料。
6、6年激光微细加工系统研发技术积淀、世界一线品牌关键零组件选型,连续7×24小时无故障工作,实际产能更高。
技术规格参数
序号 | 项目 | 技术参数 |
光学单元 | ||
1 | 激光器类型 | 355、532、1064nm可选 10ps |
2 | 冷却方式 | 恒温水冷 |
3 | 激光功率 | 10~100W |
4 | 光束质量 | M²<1.3 |
5 | 聚焦方式&加工头数 | 单点&平场聚焦镜、双头 |
6 | 最小聚焦光斑直径 | Ф3--15μm |
激光加工性能 | ||
7 | 加工速度 | 100~3000mm/s可调 |
8 | 最小崩边 | 3μm |
9 | 最大加工材料厚度 | 2mm |
10 | 最大加工尺寸&精度 | 12inches, ±5μm |
机械单元 | ||
11 | 机床结构 | 龙门式 |
12 | 机床运动轴数&种类 | 最多8轴, X,Y, Z, &θ轴 |
13 | 平台最大行程&速度 | 650mm×450mm,800mm/s |
14 | 运动平台重复精度 | ≤±1μm |
15 | 运动平台定位精度 | ≤±3μm |
软件控制单元 | ||
16 | 激光加工&平台控制 | Strongsoft, Strongsmart |
17 | 加工文件导入格式 | Dxf, Plt, DWG, Gebar |
18 | CCD视觉定位软件 | AISYS Vision |
19 | CCD视觉定位精度 | ≤±3μm |
电气单元 | ||
20 | PLC控制器 | Panasonic |
21 | 真空系统 | 真空泵 |
22 | 除尘&集尘系统 | 专业粉尘过滤集成净化机 |
自动化单元 | ||
23 | 自动上下料系统 | XZ轴+可移动上下料平台 |
高级可选单元 | ||
24 | AOI视觉检测 | 8--12寸大片/3min |
25 | 自动裂片功能 | 8--12寸大片/3min |
26 | 自动清洗分选 | 8--12寸大片/3min |
安装环境 | ||
27 | 整机供电&稳压器功率 | 220V380V,8KW |
28 | 压缩空气压强 | ≥0.6MPa |
29 | 无尘室等级 | 10000 |
30 | 地面承重 | 2T/m² |
31 | 保护氮气 | 高纯氮 |
切割、钻孔样品:
快速激光打孔!.mp4(演绎超快激光每秒打100个直径3MM的孔)
为什么选择韵腾激光:
一流的研发团队